深圳真空電源從“Nokia”到“Iphone”
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目前制備硬質合金涂層主要可采用PVD方式,而PVD沉積除磁控放電外,還有陰極弧放電進行涂層PVD沉積,相比磁控,陰極弧放電結構簡單,已廣泛應用于各種涂層技術的制備,如裝飾鍍層,其工藝沉積速率快。隨著工藝的要求逐漸提高,硬質合金涂層在硬度等方面提出了更高的要求,...
HiPIMS放電,由于工作在放電曲線的特殊區域,其放電特性不僅依賴于使用的氣壓、電壓,更依賴于靶材。更由于HiPIMS工作模式是脈沖工作,其放電特性具有時間特征,而表現出不同的放電特性。這里我們選用常用的幾種靶材(Cu,Cr,Mo,Ti,V和C),給出了他們的放電特性。這種與時間相關的放電特性,對于工藝設計是非常重要的。...
一種新型的高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS)技術,即放電由脈寬短、電壓高的引燃脈沖和脈寬長、電壓低的工作脈沖2部分組成的雙脈沖高功率脈沖磁控濺射技術,目的是解決傳統高功率脈沖磁控濺射沉積速率低的問題。...
在Nb靶氧反應濺射時,用合適的HiPIMS脈沖波形可以抑制進氣遲滯回線,在沒有氣體控制器下同樣能保證工藝穩定性。...
因磁場約束,以及超高功率放電,高功率脈沖磁控濺射技術(HiPIMS)在放電過程中會存在局部放電增強而導致輝光閃爍的不穩定現象。當不穩定輝光存在時,其放電狀態也有很大差異,輝光會形成不同的放電組織和斑圖形式。伴隨著這些增強型斑圖輝光放電,其內部粒子成分放電狀態如激發與電離存在差異,如何直觀研究這些變化,高分辨光譜影像學是一種有效的手段,可直觀觀察不穩定區域的放電形式與變化。...
多層薄膜能顯著改善復雜環境下部件的性能和壽命,為獲得性能良好的膜層,研發團隊提出了一種高引燃脈沖新HiPIMS放電技術。增加引燃脈沖的個數,強化了膜層的結合力,硬度以及摩擦磨損的性能。...
為獲得HiPIMS的高離化率-高沉積速率技術特征,我們在研究中提出一種新型的HiPIMS放電模式,即電-磁場協同增強HiPIMS技術,該技術以外置電場和磁場雙場協同增強常規HiPIMS放電,增加濺射粒子離化率,改善薄膜的的沉積速率,制備的膜層性能優異。...
真空鍍膜是一種常見的表面處理工藝,常用于制造光學鏡片、太陽能電池板、LED等產品。其主要流程包括以下幾個步驟: 1. 基材清洗:將待處理的基材表面進行清洗,以去除表面的油污、灰塵等雜質,確保表面干凈。...