6種靶材HiPIMS放電大不相同，設計工藝要知道!

HiPIMS放電，由于工作在放電曲線的特殊區域，其放電特性不僅依賴于使用的氣壓、電壓，更依賴于靶材。更由于HiPIMS工作模式是脈沖工作，其放電特性具有時間特征，而表現出不同的放電特性。這里我們選用常用的幾種靶材（Cu，Cr，Mo，Ti，V和C），給出了他們的放電特性。這種與時間相關的放電特性，對于工藝設計是非常重要的。

雙脈沖HiPIMS比傳統HiPIMS沉積速率提高近3倍

一種新型的高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS)技術，即放電由脈寬短、電壓高的引燃脈沖和脈寬長、電壓低的工作脈沖2部分組成的雙脈沖高功率脈沖磁控濺射技術，目的是解決傳統高功率脈沖磁控濺射沉積速率低的問題。

2023中國真空鍍膜行業發展趨勢高峰論壇圓滿落下帷幕

HiPIMS中不同脈沖波形制備氧化鈮薄膜

在Nb靶氧反應濺射時，用合適的HiPIMS脈沖波形可以抑制進氣遲滯回線，在沒有氣體控制器下同樣能保證工藝穩定性。

真空弧放電下不同尋常的陰極腐蝕圖案

對于真空弧放電下的弧斑導致的陰極材料的腐蝕研究其實由來已久。對于真空弧放電下的弧斑主要有兩種，一種是移動較快、較小、較暗的弧斑，主要發生在較臟的靶面和氧化的靶面；另一種是移動較慢、較大較亮的弧斑，其主要發生在干凈和惰性氣體放電時的靶面。

DLC涂層 - 汽車雨刮器的“便衣”

雨刮器是汽車的重要裝置，對于安全行車具有至關重要的作用。

好的雨刮器必須具備耐熱、耐寒、耐酸堿、抗腐蝕、能貼合擋風玻璃、減輕馬達負擔、低噪音、撥水性強、質軟不刮傷擋風玻璃等特點，能使你視野清晰。

多孔陶瓷材料的等離子體滲透性研究

氧化鋅（ZnO）作為一種高帶隙半導體，以其出色的化學穩定性和生物相容性廣泛應用于氣體傳感和催化等領域，尤其是具有三維多孔骨架結構的t-ZnO。通過控制t‐ZnO的晶體形態和缺陷結構，可以適應不同的應用，其中就包括對氧化鋅進行等離子體表面改性處理來改善其電導率等性能。為了將三維多孔t‐ZnO的優點與等離子體表面改性相結合，必須讓等離子體穿透到多孔骨架結構中。由于高能等離子體會導致聚合物表面C-C和C-H鍵的解離并使C自由基位點上附著新的原子或基團，

HiPIMS技術和dcMS技術在微孔內表面制備TiAlN薄膜的對比

新鉑科技，聚焦高能等離子體表面工程硬件和工藝。
潤滑油常用來提高微成形（金屬沖壓工藝尺寸的小型化）模具的使用壽命與加工精度，但是從污垢處理、產品污染和不穩定成型性的角度來看，無潤滑油微成型工藝是行業的一個強烈需求。