在HiPIMS磁控濺射中能產生高達1000A的峰值電流,能對金屬靶材產生高的離化率,由于脈沖占空比低1-10%,其平均功率與普通磁控濺射一致,不會增加靶材冷卻量。因此HiPIMS技術綜合了磁控濺射低溫沉積,膜層表面光滑特性與電弧離子鍍高離化率,膜基結合力強,膜層致密的優點,在控制涂層微觀組織、降低涂層內應力,增強韌性,提高膜層平整性方面具有顯著優勢。
新鉑HiPIMS技術優勢
新鉑創始人從2008年開始率先在國內開展HiPIMS電源及技術研究,自主開發HiPIMS復合DC電源,同時配合HiPIMS脈沖與脈沖偏壓的同步技術,結合等離子體特點,可精準調控濺射過程中的離子原子比,實現特定膜層結構的控制生長。
1、自主開發HiPIMS復合DC電源技術
定制化高能脈沖復合電源,實現高功率脈沖磁控濺射技術(HiPIMS)的超高密度等離子體產生的高金屬離化率,同時復合直流磁控濺射(DCMS)的高濺射速率,具備快速滅?。?uS)可控復合波形,可靈活控制濺射材料的離子原子比,實現控制膜層生長,實現高致密性兼顧高沉積速率。
2、HiPIMS與脈沖偏壓脈沖同步技術
HiPIMS電源配合自主開發的80K脈沖偏壓電源,可以靈活調控偏壓電源與HiPIMS電源的脈沖同步,實現對金屬離子精準控制,避免Ar離子等雜質離子對膜層的轟擊,進一步降低膜層應力,增強膜層韌性。
3、HiPIMS特定工藝定制開發能力
針對不同行業的特殊應用,可以基于20年的HiPIMS電源開發及HiPIMS工藝經驗,從材料出發,基于等離子體體底層為客戶定制不同的電源復合波形,配合磁控濺射等離子體源,到量產整機定制,提供整套解決方案。目前已在醫療行業表面改性、陶瓷金屬化、及低損傷DLC、刀具刃口行業實現應用。