PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 是指等離子體增強化學的氣相沉積法。等離子體增強化學氣相沉積是在化學氣相沉積中，激發氣體，使其產生低溫等離子體，增強反應物質的化學活性，從而進行外延的一種方法。該方法可在較低溫度下形成固體膜。例如在一個反應室內將基體材料置于陰極上，通入反應氣體至較低氣壓(1～600Pa)，基體保持一定溫度，以某種方式產生輝光放電，基體表面附近氣體電離，反應氣體得到活化，同時基體表面產生陰極濺射，從而提高了表面活性。在表面上不僅存在著通常的熱化學反應，還存在著復雜的等離子體化學反應。

　　沉積膜就是在這兩種化學反應的共同作用下形成的。    　

激發輝光放電的方法主要有：射頻激發，直流高壓激發，脈沖激發和微波激發。    　　

等離子體增強化學氣相沉積的主要優點：    　　

沉積溫度低，對基體的結構和物理性質影響??；膜的厚度及成分均勻性好；膜組織致密、針孔少，不易龜裂；膜層的附著力強；應用范圍廣，可制備各種金屬膜、無機膜和有機膜。